Fundación de Nanofilm Technology GmbH como spin-off del Instituto Max Planck de Química Biofísica en Goettingen, Alemania.
Primer producto: “Mcroscopio de Ángulo Brewster BAM1” de Nanofilm
Fundación de Halcyonics GmbH, spin-off de Nanofilm Technologie GmbH, como especialista en Aislamiento Activo de Vibración.
Presentación del primer Elipsómetro de Imagen a nivel mundial, el “I-Elli2000” de Nanofilm.
Fundación de “Accurion Inc.” en Silicon Valley (EEUU) como oficina de ventas para Norteamérica.
Halcyonics establece su propia producción y comienza un rediseño contínuo de tecnología y productos para acomodarse a las necesidades de los clientes.
Presentación del primer Espectrómetro de Reflexión de Nanofilm (RefSPEC).
Presentación de la nueva plataforma para Elipsometría de Imagen de Nanofilm, “EP3”
Presentación del Elipsómetro de Imagen de Nanofilm para aplicaciones biotecnológicas, “EP3SPR”.
Presentación del primer “Elipsómetro Espectroscópico de Imagen EP3SE” de Nanofilm.
Presentación del modelo “Vario” de Halcyonics.
Presentación del modelo “Micro” de Halcyonics.
Presentación de los Silenciadores y Terminales de Halcyonics, basadas en la tecnología Micro y Vario.
Nanofilm se convierte en una sección dentro de Halcyonics GmbH.
Presentación del sistema de aislamiento activo de vibración más pequeño del mundo, el Halcyonics Nano 20.
Halcyonics y Nanofilm anuncian su fusión bajo el nombre de Accurion.
Accurion se muda a sus nuevas instalaciones en Stresemannstr. 30, 37079 Goettingen, Alemania
Presentación del modelo Halcyonics i4.
Accurion presenta el primer Microscopio de Ángulo Brewster con enfoque completo sin necesidad de scanner, el Nanofilm_UltraBam.
Presentación del Terminal con sistema Halcyonics i4 integrado.
Presentación del Nanofilm EP4 y del modelo Halcyonics i4 large.
